美国MARCH AP-1000等离子清洗系统适用于多种微电子器件的制造过程，提供高效的表面清洗。该系统具备PLC控制、自动阻抗匹配、专li控制软件等功能，确保过程重复性和数据记录。其设计紧凑，易于维护，并支持多种工艺气体配置，能够显著提升生产效率和产品 ...