FSM薄膜应力与晶圆翘曲度测量仪采用激光扫描技术，自动切换双波段激光，可测量各种薄膜应力及晶圆翘曲度，支持500℃高温测量及2-D & 3-D映射功能，适用于半导体、LED、太阳能等多个领域，具备高精度、非接触式快速扫描特点，支持生产和研发用途。该设备能 ...